[반도체 공정] Ellipsometer | 반도체｜용어정리

1) 반도체 용어 이름을 기재하세요

Ellipsometer

* 용어는 가급적이면 기존 스터디원이 작성하지 않은 개념 위주로 부탁 드립니다 :D

 

2) 해당 용어는 어떤 개념에서 사용되나요? (예시 : 공정개념 / 소자개념)

소자개념

 

3) 해당 반도체 용어의 뜻을 기재해주세요

물질의 표면에 공이 반사할 때 편광 상태의 변화(입사와 반사)를 관측하고, 그로부터 물질에 관한 정보를 구하는 방법이다. si 반도체 소자보다는 화합물 반도체 소자의 박막 두께를 알고 싶을 때 사용하는 장비이다. 단파장 ellipsometer는 측정 정수가 좋지 않고, 막 두께가 100옹스트롱 이하일 때는 측정이 힘드므로 주로 편광 ellipsometer를 사용한다.

 

4) 혜택을 받을 이메일 주소를 기재해주세요(반도체 기출용어집 제공)

dmsgml9964@naver.com

[출처] [반도체 공정] Ellipsometer (이취사-이공계취업,반도체,8대공정,자동차,디스플레이,삼성,ASML) |작성자 직무반도체4기 최은희