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Q) Ellipsometer?

A) Ellipsometer란 물질의 표면에 광이 반사할 때 편광 상태의 변화(입사와 반사)

관측하고, 그로부터 물질에 관한 정보를 구하는 방법입니다.

 

 

Q) Ellipsometer로 측정하면 무엇을 알게 되는가?

 

 

재료에 따라 다르지만, 기본적으로 1A~5mm 막까지 계산이 가능합니다.

 

 

Q) Ellipsometer의 원리는?

 

 

 

Q) 왜 단일 파장 Ellipso가 아닌,

분광 Ellipsometer가 필요할까요?

 

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[출처] Ellipsometer 이해하기 <1>|작성자 호리바 과학돌이

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Posted by 용매니저